極大提升高端碳化硅、石英零部件的自主供應能力

11月14日，在沈陽經濟技術開發(fā)區(qū)二十六號路，剛剛投產1個月的遼寧漢京半導體產業(yè)基地內，高端精密設備正在高效運轉。遼寧漢京半導體材料有限公司副總經理李慶甲向記者介紹：“市場需求迫切，項目建設期間就不斷有客戶來洽談。目前，碳化硅產品明年的訂單都已經接滿了，石英產品訂單接到了明年6月?！?

新廠新品，為何如此緊俏？事實上，自去年3月開建，產業(yè)基地就備受業(yè)界的關注與期待。

遼寧漢京半導體是國內首家碳化硅耗材生產商、國內石英制品產業(yè)的頭部供應商，其自主研發(fā)的半導體設備用碳化硅、石英制品在客戶端已通過測試認證，在技術上實現了國產突破、填補了國內行業(yè)空白。新建的產業(yè)基地包含兩條高端生產線，即國內首條應用于10納米以下半導體先進制程的極高純石英生產線、國內首條半導體碳化硅零部件生產線。

這兩條生產線產出的產品，解決的是我國半導體產業(yè)鏈斷點、卡點的問題，將極大提升國內高端碳化硅、石英零部件的自主供應能力。以半導體碳化硅零部件為例，目前全球做同類產品的企業(yè)只有3家，供貨周期通常為2至3年，下游用戶常面臨采購難甚至采購不到的困境。產業(yè)基地投產后，該類產品的供貨周期有望縮短至1年以內。

再看石英零部件，高純石英及其制品貫穿了半導體生產全過程，是確保產品質量與性能穩(wěn)定的核心要素。李慶甲說：“我們的基地是目前全球規(guī)模最大的單體石英加工廠，擁有全球半導體石英精密度最高的生產線，多家芯片龍頭企業(yè)都會用到我們的產品，能夠為提高高端市場供應能力、保障國家產業(yè)安全貢獻一份力量?！?

安全必需、市場急需，省、市、區(qū)各相關部門協同發(fā)力、靠前服務，保障這一重點項目高質高效建設。占地面積9.6萬平方米、規(guī)劃建筑面積12萬平方米的產業(yè)基地，開工6個月后就實現了所有廠房主體封頂。遼寧漢京半導體行政副總經理趙陽說：“這為項目當年冬季開展內部施工創(chuàng)造了條件、搶出了時間，今年10月投產，比預期至少提前了兩個月?！?

“目前生產線都開足了馬力加緊生產，兩個集控中心也同步投用，不只是車間的生產設備，整個廠區(qū)的水、電、氣等保障設備都全部聯網，實現數字化、智能化控制，生產和運行效率有了很大提升。”李慶甲告訴記者，“產業(yè)基地全部達產滿產后，可以實現年產值約12億元?！?