營口，這座鐫刻著工業(yè)基因的城市，正以“硬核制造”托舉大國脊梁。從新一代超大型空分壓縮機，到硼鎂肥料國家標準起草；從為核電加熱元件國產化替代，到國產光刻機核心部件自主化——營口裝備制造企業(yè)以“納米級”精度，在國之重器的宏偉藍圖中刻下鮮明印記。這里集聚著13家國家級專精特新“小巨人”，137戶省級“專精特新”中小企業(yè)、13戶制造業(yè)單項冠軍企業(yè)，70%的規(guī)上企業(yè)參與國家重大工程配套，一條條智能產線輸送的不僅是零件，更是中國智造的底氣。

從今天開始《大國重器上的營口制造》欄目將深入這些企業(yè)生產車間一線，探訪那些“隱形冠軍”如何以技術創(chuàng)新破局“卡脖子”難題，見證傳統老工業(yè)基地如何借力數字化轉型煥新突圍。在這里，每一顆螺絲都在講述“大國制造”的匠心故事，每一次技術突破都在標注東北全面振興新突破的新坐標?？礌I口裝備，如何以鋼鐵之軀，鑄就強國之魂！

在全球半導體產業(yè)競爭日益激烈的背景下，加速突破“卡脖子”技術瓶頸，是科技企業(yè)的責任擔當。作為高端裝備制造領域的“隱形冠軍”，遼寧希泰科技有限公司憑借在等離子體刻蝕設備領域的持續(xù)深耕，成功打破國外壟斷，成為支撐我國半導體產業(yè)鏈自主可控“大國重器”的“配套脊梁”。

在光刻機的真空腔體內，在核聚變裝置的超導磁體內，甚至在中國空間站的精密儀器上，有一根看似普通的金屬管件——?焊接波紋管?，以“至柔至剛”的性能成為大國重器的“硬核擔當”。走進希泰的加工車間，工人們身著防護服，在顯微鏡下操作微束等離子焊接機，將厚度僅為0.05毫米的金屬片層層焊接。這項看似“繡花”的工藝，卻打破了國外對?半導體設備關鍵零部件?的壟斷。

遼寧希泰科技有限公司總經理孫艷朝介紹說，焊接波紋管的變形量需精確到微米級，疲勞壽命超過1000萬次，任何細微誤差都會導致設備失效。 通過自主研發(fā)的?雙層高精密焊接技術?，企業(yè)不僅攻克了材料變形控制難題，還將產品壽命提高至國際標準的1.5倍，成為中微半導體、北方華創(chuàng)等頭部企業(yè)的核心供應商。

遼寧希泰科技有限公司是一家專業(yè)生產集成電路設備關鍵零部件的高新技術企業(yè)，是國家集成電路零部件技術創(chuàng)新聯盟成員單位，始終致力于為半導體芯片處理設備、離子注入設備、高端晶圓設備、光刻機設備、硅刻蝕設備等提供高精密零部件及一體化解決方案。實現了諸多集成電路設備關鍵零部件國產化，產品技術水平為國內領先。公司已成為國內半導體刻蝕和薄膜沉積設備細分領域關鍵零部件的精密制造商，尤其在刻蝕設備領域，公司是國內少數已量產供應7納米及以下國產刻蝕設備關鍵零部件的供應商，直接與國際廠商競爭。

特別是最近這幾年的發(fā)展，企業(yè)一邊生產一邊研發(fā)一邊搞建設，企業(yè)的規(guī)模呈幾何式增長，員工由過去的近百名發(fā)展到近千人，員工的技術實力由原來的普通技能發(fā)展到現在既會編程又會設計，還能同時搞研發(fā)生產，使企業(yè)快速發(fā)展，迭代了核心技術。

從2010年成立時的單一普通波紋管生產，到如今覆蓋半導體產業(yè)領域的高精密產品、?真空腔體、精密機加件、半導體分立器件?的全產業(yè)鏈布局，遼寧希泰的產值15年間增長超40多倍。這一飛躍源于企業(yè)對技術研發(fā)的持續(xù)投入：累計申請30余項專利，其中?微束等離子焊接工藝?和?真空密封技術?填補國內空白，參與國家“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”專項，助力國產光刻機核心部件自主化。在聚焦半導體領域同時，企業(yè)充分發(fā)揮精密零部件研發(fā)的扎實基礎及創(chuàng)新能力優(yōu)勢，積極在半導體、航空航天等產業(yè)開發(fā)新產品。

早在2020年，公司成功研發(fā)了CEPC粒子加速器屏蔽式焊接波紋管，解決了我國粒子加速器大科學工程中的技術難題，實現了產品國產化，受到了國內外專家的一致好評。同年，獲得“遼寧省瞪羚企業(yè)”榮譽稱號。

“核心技術沒有捷徑！我們曾經研發(fā)粒子加速器專用波紋管，連續(xù)6個月推翻上百種設計方案?，F在，無塵車間潔凈度超過手術室，檢測設備精度達到納米級。未來三年，將投入2億元擴建沈陽研發(fā)中心，重點攻關?光刻機用的超高真空組件?，目標是實現半導體設備零部件國產化率超過90%?！睂O艷朝說。

記者手記

從實驗室里的“一根管”到大國重器的“頂梁柱”，遼寧希泰用15年時間詮釋了“中國智造”的韌性。在半導體產業(yè)自主化的浪潮中，我市這家企業(yè)正以“隱形冠軍”的姿態(tài)，為全球高端裝備注入更多“中國芯”力量。